真空吸盘不锈钢，铝硬质阳极氧化，或聚甲醛树脂，确保指定的选择和卡盘尺寸材料订货。
　　
　　CS型：平面交叉和滚动，用来装薄，平面衬底如硅、玻璃或锗在^大转速旋转轴，有交叉和滚动的设计。
　　
　　H型：O形环真空控股，用于保存相对重的基板，如玻璃、石英、陶瓷和金属，具有真空密封。
　　
　　L型：O型真空保持，机械定位手指设计为重，大的或不对称的基，引导手指协助定位夹持基板，另外，还包括一个真空密封。
　　
　　非真空型吸盘不锈钢：制造^的用户指定的尺寸定制，设计为双层涂层的应用（基板不触底卡盘）。
　　
　　规格：尺寸-无编程8英寸/ 20.3厘米；尺寸-可编程8英寸；12英寸/ 20.3和30.5
　　
　　转速0至9,999 RPM，以1 RPM为增量，加速/减速0.1至30秒，以0.1秒为增量，暂停时间0到999秒，增量为1秒，分配时间10至30秒，增量为0.1秒（仅限可编程型号），功率110/240 VAC，50 / 60Hz，10。尺寸（W×D×H）13.25×18×10.8英寸/33.7×45.7×27.4厘米。